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全低压空分设备、 大型内压缩流程空分设备、 超低压富氧空分设备、 节能型空分设备、 高纯氮空分设备、 沼气提纯净化设备、 液体空分、 外挂液化装置、 稀有气体提纯装置、 空分节能改造、 设备检修、 成套设备运营、

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开封黄河空分集团有限公司位于河南省开封市宋城大道33号，是高新技术企业，设有河南省甲烷提纯液化工程技术研究中心，设有河南省企业技术中心，是国家第三批“专精特新”小巨人企业，是河南省“绿色工厂”，是中国通用机械工业协会理事单位，是中国通用机械工业协会气体分离设备分会副理事长单位，是拥有核心自主知识产权的空分设备、新能源设备、气体压缩机制造商和工业气体供应商。

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开 封 黄 河 空 分 集 团 有 限 公 司 _ 氧 气 _ 氢 气 _ 氮 气 _ 氩 气 _ 特 种 气 体 黄 河 空 分 黄 河 空 分 黄 河 空 分   黄 河 空 分 黄 河 空 分 黄 河 空 分   N E W S C E N T E R 新 闻 动 态 黄 河 空 分 顺 利 通 过 第 三 批 国 家 专 精 特 新 “ 小 巨 人 ” 企 业 复 核 黄 河 空 分 顺 利 通 过 第 三 批 国 家 专 精 特 新 “ 小 巨 人 ” 企 业 复 核 2 0 2 4 0 9 2 0 发 布 时 间 : 1 7 2 6 7 9 6 1 3 5 0 0 0     近 日 ， 开 封 黄 河 空 分 集 团 有 限 公 司 通 过 第 三 批 专 精 特 新 “ 小 巨 人 ” 复 审 ， 成 功 蝉 联 这 一 “ 国 字 号 ” 殊 荣 。 从 2 0 2 1 年 首 次 入 选 到 今 年 复 核 通 过 ， 再 次 印 证 了 公 司 在 空 气 分 离 、 新 能 源 领 域 的 领 先 地 位 及 创 新 实 力 。     近 年 来 ， 黄 河 空 分 致 力 于 先 进 工 艺 研 发 运 用 和 专 利 技 术 高 端 装 备 产 业 发 展 ， 以 科 技 创 新 赋 能 ， 加 快 发 展 新 质 生 产 力 ， 完 善 科 技 创 新 体 制 机 制 ， 全 力 加 速 推 动 科 技 创 新 成 果 转 化 。 未 来 ， 黄 河 空 分 将 继 续 秉 承 专 精 特 新 “ 小 巨 人 ” 的 “ 专 业 化 、 精 细 化 、 特 色 化 ” 内 涵 ， 紧 密 围 绕 行 业 与 市 场 的 需 求 动 态 ， 持 续 深 耕 专 业 领 域 ， 锻 长 板 、 补 短 板 ， 通 过 技 术 创 新 、 产 品 创 新 、 服 务 创 新 助 推 数 字 化 转 型 发 展 ， 为 行 业 发 展 和 强 国 建 设 贡 献 更 大 力 量 。     查 看 详 情     近 日 ， 开 封 黄 河 空 分 集 团 有 限 公 司 通 过 第 三 批 专 精 特 新 “ 小 巨 人 ” 复 审 ， 成 功 蝉 联 这 一 “ 国 字 号 ” 殊 荣 。 从 2 0 2 1 年 首 次 入 选 到 今 年 复 核 通 过 ， 再 次 印 证 了 公 司 在 空 气 分 离 、 新 能 源 领 域 的 领 先 地 位 及 创 新 实 力 。     近 年 来 ， 黄 河 空 分 致 力 于 先 进 工 艺 研 发 运 用 和 专 利 技 术 高 端 装 备 产 业 发 展 ， 以 科 技 创 新 赋 能 ， 加 快 发 展 新 质 生 产 力 ， 完 善 科 技 创 新 体 制 机 制 ， 全 力 加 速 推 动 科 技 创 新 成 果 转 化 。 未 来 ， 黄 河 空 分 将 继 续 秉 承 专 精 特 新 “ 小 巨 人 ” 的 “ 专 业 化 、 精 细 化 、 特 色 化 ” 内 涵 ， 紧 密 围 绕 行 业 与 市 场 的 需 求 动 态 ， 持 续 深 耕 专 业 领 域 ， 锻 长 板 、 补 短 板 ， 通 过 技 术 创 新 、 产 品 创 新 、 服 务 创 新 助 推 数 字 化 转 型 发 展 ， 为 行 业 发 展 和 强 国 建 设 贡 献 更 大 力 量 。     分 类 ： 新 闻 中 心 作 者 ： 来 源 ： 企 业 创 新 发 展 科 技 黄 河 通 过 专 精 领 域 巨 人 行 业 如 何 顺 好 工 业 气 体 这 口 “ 气 ” 如 何 顺 好 工 业 气 体 这 口 “ 气 ” 2 0 2 4 0 5 0 9 发 布 时 间 : 1 7 1 5 2 1 7 2 6 9 0 0 0 原 标 题 ： 如 何 顺 好 工 业 气 体 这 口 “ 气 ”         提 到 气 体 ， 大 多 数 人 会 首 先 想 到 空 气 、 氧 气 等 ， 它 们 来 得 容 易 又 便 宜 。 但 是 ， 有 些 气 体 却 价 值 连 城 ， 我 们 每 年 甚 至 要 花 费 巨 额 资 金 去 国 外 购 买 ， 这 就 是 工 业 气 体 ， 包 括 氪 气 、 氩 气 。 它 们 是 现 代 工 业 不 可 或 缺 的 基 础 原 料 ， 广 泛 应 用 于 钢 铁 、 冶 金 、 石 油 、 化 工 、 电 子 、 医 疗 等 重 要 行 业 ， 发 挥 着 强 有 力 的 战 略 支 撑 作 用 ， 乃 至 被 称 为 “ 工 业 的 血 液 ” 。 我 国 的 工 业 气 体 长 期 依 赖 德 国 、 美 国 和 法 国 ， 生 产 集 成 电 路 所 需 的 特 种 气 体 中 ， 国 产 率 只 有 2 0 % 。 面 对 我 国 工 业 血 液 的 “ 贫 血 ” 问 题 ， 我 们 该 如 何 走 出 困 境 ？ “ 工 业 的 血 液 ”         工 业 气 体 是 指 在 工 业 生 产 中 所 使 用 的 气 体 ， 可 以 作 为 生 产 原 料 、 燃 料 、 保 护 气 、 输 送 气 、 驱 动 气 、 换 热 介 质 等 。 在 高 精 尖 领 域 中 ， 氧 气 和 氢 气 可 作 为 火 箭 的 燃 料 ， 氦 气 是 医 院 核 磁 共 振 仪 的 超 导 体 冷 却 剂 ， 氖 气 是 芯 片 光 刻 机 光 源 的 工 作 气 体 。 工 业 气 体 的 种 类 非 常 丰 富 ， 多 达 数 百 种 ， 可 分 为 大 宗 气 体 、 特 种 气 体 两 大 类 。 大 宗 气 体 是 指 用 量 大 、 使 用 范 围 广 的 气 体 ， 比 如 从 空 气 中 分 离 得 到 的 氧 气 、 氮 气 、 氩 气 以 及 化 学 合 成 的 氨 气 、 乙 烯 、 丙 烯 、 乙 炔 ； 特 种 气 体 是 指 被 应 用 在 特 定 领 域 对 纯 度 、 品 质 、 性 能 有 特 殊 要 求 的 气 体 ， 比 如 芯 片 制 造 过 程 中 用 到 的 各 种 高 纯 气 体 ， 以 及 在 国 防 、 医 疗 、 食 品 等 领 域 用 到 的 特 殊 气 体 。 可 见 ， 工 业 气 体 渗 透 到 工 业 生 产 的 各 个 环 节 ， 发 挥 了 不 可 替 代 的 作 用 ， 因 此 被 称 为 “ 工 业 的 血 液 ” 。 工 业 气 体 究 竟 有 多 重 要 ？ 以 半 导 体 行 业 为 例 ， 芯 片 的 制 造 会 用 到 光 刻 机 ， 光 刻 是 用 特 定 波 长 的 激 光 让 光 刻 胶 发 生 化 学 反 应 ， 通 过 曝 光 和 显 影 将 设 计 在 掩 膜 版 上 的 图 形 转 移 到 硅 片 上 的 过 程 。 特 定 的 波 长 是 在 常 用 的 深 紫 外 D U V 光 刻 机 中 通 过 准 分 子 激 光 器 产 生 的 ， 这 种 激 光 器 内 充 填 了 9 7 % 的 氖 气 。         全 球 7 0 % 的 氖 气 由 乌 克 兰 供 应 ， 但 乌 克 兰 危 机 导 致 氖 气 停 产 ， 供 应 短 缺 ， 价 格 暴 涨 。 氖 气 虽 然 存 在 于 空 气 中 ， 但 只 占 0 . 0 0 1 8 % ， 它 的 制 取 离 不 开 空 气 分 离 技 术 。 大 型 空 气 分 离 装 置 举 足 轻 重         空 气 分 离 简 称 “ 空 分 ” ， 是 利 用 化 工 分 离 技 术 将 空 气 中 的 各 个 成 分 分 离 开 来 获 得 各 种 气 体 产 品 。 空 分 技 术 最 初 的 目 的 并 不 是 为 了 得 到 氖 气 ， 而 是 为 了 生 产 工 业 中 大 量 使 用 的 氧 气 和 氮 气 。 1 9 0 3 年 ， 德 国 林 德 设 计 制 成 世 界 上 第 一 台 工 业 用 的 1 0 立 方 米 / 小 时 制 氧 机 ， 至 今 已 过 百 年 。 长 期 以 来 世 界 空 分 市 场 被 德 、 法 、 美 等 国 的 四 大 气 体 公 司 垄 断 。         空 分 的 原 理 并 不 复 杂 ， 难 点 在 于 空 气 分 离 的 设 备 ， 尤 其 是 大 型 、 特 大 型 的 空 分 设 备 。 大 型 空 分 装 置 的 制 造 能 力 是 衡 量 一 个 国 家 空 分 技 术 水 平 的 重 要 标 志 。 我 国 的 空 分 产 业 是 从 2 0 世 纪 5 0 年 代 起 步 的 ， 经 过 摸 索 、 合 作 、 自 主 研 发 等 阶 段 ， 直 到 2 0 0 0 年 前 后 ， 得 益 于 钢 铁 、 煤 化 工 等 产 业 的 快 速 发 展 ， 我 国 大 型 、 特 大 型 空 分 成 套 技 术 与 装 备 才 有 了 质 的 飞 跃 。         长 期 以 来 ， 大 型 的 空 分 设 备 基 本 上 都 由 国 外 公 司 垄 断 。 近 年 来 ， 得 益 于 煤 化 工 的 快 速 发 展 ， 我 国 空 分 设 备 迎 来 了 转 机 。 我 国 研 制 的 十 万 等 级 （ 1 0 0 0 0 0 立 方 米 / 小 时 ） 空 分 装 置 ， 就 是 我 国 重 大 技 术 装 备 国 产 化 里 程 碑 式 的 一 个 成 就 。 国 内 生 产 的 空 分 设 备 不 仅 产 氧 质 量 好 ， 而 且 能 耗 低 、 生 产 成 本 低 、 性 能 优 ， 特 别 是 长 周 期 稳 定 运 行 远 远 超 过 了 国 外 ， 成 为 我 们 的 “ 大 国 重 器 ” 。 大 型 空 分 技 术 的 进 步 也 为 我 国 氖 气 的 自 主 生 产 创 造 了 条 件 ， 其 他 几 种 稀 有 气 体 也 被 附 带 提 取 了 出 来 ， 包 括 贵 如 黄 金 的 氪 气 、 氙 气 等 。 目 前 我 国 占 全 球 氖 气 市 场 份 额 的 4 0 % ， 超 过 了 乌 克 兰 ， 有 力 保 障 了 我 国 相 关 产 业 的 健 康 发 展 。 半 导 体 生 产 要 用 到 上 百 种 气 体         工 业 气 体 中 的 电 子 特 气 ， 包 括 氙 气 、 氪 气 、 含 氟 气 体 等 ， 是 集 成 电 路 制 造 、 半 导 体 显 示 、 半 导 体 器 件 制 造 过 程 中 必 不 可 少 的 关 键 材 料 。 生 产 一 枚 芯 片 ， 需 要 1 0 0 多 种 电 子 特 气 ， 而 我 国 仅 能 生 产 约 2 0 % 的 品 种 ， 其 余 品 种 均 依 赖 进 口 ， 有 的 品 种 1 千 克 售 价 高 达 几 万 元 人 民 币 。 芯 片 的 生 产 过 程 非 常 复 杂 ， 从 生 产 多 晶 硅 开 始 ， 到 抛 光 、 外 延 、 扩 散 、 成 膜 、 沉 积 、 刻 蚀 、 掺 杂 、 电 镀 、 清 洗 、 分 装 等 环 节 ， 几 乎 都 离 不 开 电 子 特 气 的 参 与 ， 电 子 特 气 是 芯 片 制 造 中 的 第 二 大 耗 材 。         按 照 所 处 的 工 序 ， 电 子 特 气 可 以 分 为 外 延 气 、 沉 积 气 、 刻 蚀 气 、 掺 杂 气 等 ， 每 一 类 都 包 含 很 多 品 种 。 沉 积 气 是 以 硅 烷 等 含 硅 气 体 为 主 ， 硅 烷 分 解 后 可 以 在 晶 圆 表 面 形 成 需 要 的 薄 膜 ； 刻 蚀 气 常 用 的 是 四 氟 化 碳 、 八 氟 环 丁 烷 等 含 氟 的 气 体 ， 它 的 作 用 是 对 经 过 光 刻 的 硅 片 进 行 雕 刻 得 到 特 定 结 构 的 沟 槽 ； 掺 杂 气 是 含 有 砷 、 硼 、 磷 等 元 素 的 气 体 ， 用 于 向 硅 片 中 掺 入 一 些 元 素 形 成 半 导 体 的 器 件 。 气 体 是 怎 么 在 刻 蚀 环 节 中 起 作 用 的 ？ 目 前 主 流 的 刻 蚀 方 法 是 干 法 刻 蚀 ， 它 包 括 化 学 刻 蚀 和 物 理 刻 蚀 ， 其 中 的 化 学 刻 蚀 用 到 的 是 含 氟 气 体 ， 基 本 原 理 是 利 用 等 离 子 体 发 生 装 置 把 含 氟 气 体 电 离 成 氟 的 自 由 基 ， 由 氟 的 自 由 基 与 硅 结 合 起 来 生 成 气 态 的 四 氟 化 硅 ， 而 四 氟 化 硅 容 易 被 抽 走 不 会 残 留 ， 这 样 就 可 以 在 硅 片 上 雕 刻 出 一 道 道 特 定 结 构 的 沟 槽 。 电 子 特 气 生 产 技 术 门 槛 极 高         电 子 特 气 的 “ 特 ” ， 就 特 在 纯 净 度 要 求 非 常 高 ， 纯 度 指 的 是 主 成 分 的 含 量 越 高 越 好 ， 洁 净 度 指 的 是 杂 质 的 残 留 量 越 低 越 好 。 对 于 9 0 纳 米 制 程 纯 度 要 求 在 5 到 6 个 N ， 这 里 N 指 的 是 纯 度 百 分 比 中 9 的 个 数 。 同 时 杂 质 要 求 小 于 1 0 的 负 9 次 方 ， 也 就 是 十 亿 分 之 一 。 2 8 纳 米 甚 至 7 纳 米 、 5 纳 米 制 程 对 电 子 特 气 的 纯 度 要 求 就 更 高 了 ， 金 属 元 素 要 净 化 到 万 亿 分 之 一 ， 相 当 于 2 0 个 标 准 游 泳 池 的 水 里 杂 质 的 量 不 能 超 过 一 滴 水 的 量 。 为 什 么 要 如 此 苛 刻 的 纯 度 呢 ？ 这 是 因 为 极 微 量 的 杂 质 都 有 可 能 导 致 产 品 出 现 重 大 缺 陷 ， 比 如 水 分 、 氧 气 等 杂 质 会 导 致 氧 化 金 属 和 颗 粒 物 ， 会 导 致 短 路 以 及 线 路 的 损 坏 。 从 2 8 纳 米 到 7 纳 米 ， 产 品 的 金 属 杂 质 必 须 下 降 1 0 0 倍 ， 污 染 粒 子 的 体 积 必 须 缩 小 到 4 倍 以 下 。 随 着 工 艺 制 程 发 展 到 1 0 纳 米 以 下 ， 生 产 过 程 对 于 杂 质 过 滤 、 洁 净 度 的 要 求 也 会 越 来 越 严 格 。         这 么 苛 刻 的 要 求 导 致 电 子 特 气 生 产 技 术 的 门 槛 非 常 高 ， 需 要 长 期 的 积 累 和 研 发 投 入 。 同 时 生 产 过 程 要 用 到 大 量 精 密 仪 器 设 备 ， 这 是 第 一 道 难 关 。 第 二 道 难 关 是 资 质 壁 垒 ， 电 子 特 气 品 质 对 电 气 产 品 性 能 影 响 大 ， 一 旦 质 量 出 现 问 题 下 游 客 户 将 损 失 巨 大 。 为 保 持 气 体 供 应 的 稳 定 ， 客 户 在 与 气 体 供 应 商 建 立 合 作 关 系 以 后 ， 不 会 轻 易 地 更 换 气 体 供 应 商 ， 如 果 想 进 入 就 必 须 经 过 严 格 的 审 查 和 认 证 ， 这 个 周 期 一 般 要 长 达 2 到 3 年 。 由 于 发 达 国 家 电 子 信 息 产 业 的 起 步 早 ， 在 技 术 、 资 金 、 人 才 等 方 面 有 先 发 优 势 ， 我 国 不 得 不 长 期 依 赖 进 口 ， 8 5 % 以 上 的 市 场 份 额 被 美 、 法 、 德 、 日 等 国 的 企 业 所 垄 断 ， 特 别 是 超 高 纯 特 气 更 是 几 乎 全 部 依 赖 进 口 ， 卖 不 卖 、 卖 多 少 全 凭 他 们 说 了 算 。 所 以 ， 我 国 必 须 尽 快 开 发 出 关 键 电 子 特 气 的 国 产 化 技 术 化 解 “ 卡 脖 子 ” 的 风 险 ， 把 国 民 经 济 的 安 全 命 脉 牢 牢 地 掌 握 在 自 己 手 中 。 从 技 术 层 面 而 言 ， 我 国 电 子 气 体 行 业 需 要 在 以 下 几 个 方 面 加 以 突 破 ： 一 是 净 化 材 料 ， 气 体 终 端 净 化 器 的 核 心 材 料 ， 如 净 化 用 的 催 化 剂 、 吸 附 剂 和 膜 材 料 等 ； 二 是 新 产 品 、 新 技 术 ， 电 子 特 气 更 新 换 代 快 ， 新 产 品 的 研 发 、 混 配 技 术 跟 不 上 国 外 的 研 发 速 度 ， 国 内 的 三 氟 化 氮 和 六 氟 化 硫 等 电 子 特 气 产 品 ， 目 前 国 际 上 已 逐 渐 淘 汰 ； 三 是 设 备 方 面 ， 与 高 纯 气 体 接 触 的 器 材 必 须 满 足 洁 净 的 标 准 ， 否 则 释 放 出 来 的 微 量 杂 质 就 会 污 染 电 子 气 体 ， 生 产 用 的 容 器 、 管 道 阀 门 等 目 前 还 需 要 大 量 进 口 ， 亟 需 我 们 尽 快 研 发 ； 四 是 检 测 技 术 方 面 ， 分 析 检 测 是 品 质 保 证 的 关 键 ， 部 分 纯 度 指 标 检 测 技 术 有 一 定 的 基 础 ， 但 是 在 超 痕 量 杂 质 高 精 度 分 析 检 测 技 术 以 及 一 些 专 用 的 仪 器 方 面 与 国 外 差 距 巨 大 。 近 年 来 ， 我 国 一 些 企 业 经 过 多 年 的 自 主 研 发 ， 部 分 电 子 特 气 产 品 已 经 实 现 量 产 ， 并 且 通 过 了 国 际 龙 头 企 业 的 认 证 ， 今 后 将 会 有 更 多 的 产 品 陆 续 进 入 全 球 半 导 体 的 供 应 链 体 系 。 宇 宙 含 量 第 二 的 地 球 珍 稀 气 体         氦 气 是 宇 宙 中 含 量 第 二 高 的 元 素 ， 但 在 地 球 上 却 相 当 稀 缺 。 氦 气 无 色 无 味 ， 非 常 轻 又 有 惰 性 ， 一 般 状 态 下 不 会 和 其 他 物 质 反 应 ， 很 安 全 ， 是 一 种 关 系 国 家 安 全 、 高 新 技 术 产 业 发 展 的 战 略 性 气 体 ， 广 泛 应 用 于 深 海 潜 水 、 低 温 技 术 、 火 箭 燃 料 、 半 导 体 制 造 、 核 磁 共 振 等 领 域 ， 有 “ 黄 金 气 体 ” 之 誉 。 比 如 ， 在 半 导 体 的 制 程 里 面 ， 它 可 以 掺 到 刻 蚀 气 体 里 面 来 清 洗 ， 它 的 导 热 系 数 也 高 ， 可 以 把 设 备 的 热 量 及 时 地 移 走 ， 不 至 于 产 生 过 热 ， 提 高 了 设 备 的 安 全 性 。 航 空 航 天 发 动 机 的 燃 料 和 氧 化 剂 的 输 送 系 统 都 需 要 有 氦 气 的 密 切 参 与 。 此 外 ， 宇 宙 飞 船 、 液 体 燃 料 导 弹 等 在 加 注 燃 料 之 前 必 须 使 用 氦 气 清 洗 和 增 压 ， 增 压 里 面 的 液 氢 罐 和 管 道 系 统 在 太 空 舱 上 各 种 气 动 阀 门 的 驱 动 气 体 也 是 氦 气 。 在 核 电 领 域 ， 利 用 氦 气 导 热 系 数 高 的 特 点 ， 可 以 作 为 最 先 进 的 气 冷 式 核 反 应 堆 的 冷 却 介 质 。 氦 气 在 芯 片 和 光 纤 的 生 产 中 也 大 有 用 武 之 地 ， 利 用 它 极 不 活 泼 的 化 学 性 质 可 用 作 生 产 过 程 中 的 保 护 气 ， 利 用 它 的 高 导 热 性 和 散 热 能 力 可 以 实 现 零 部 件 的 快 速 冷 却 ， 提 高 生 产 效 率 ， 并 减 少 芯 片 和 光 纤 的 质 量 缺 陷 ， 每 生 产 1 0 0 公 里 的 光 纤 就 需 要 2 个 立 方 米 的 氦 气 。 毫 不 夸 张 地 说 ， 如 果 没 有 氦 气 ， 医 院 的 核 磁 共 振 检 查 将 无 法 进 行 ， 宇 宙 飞 船 也 无 法 升 空 。         氦 气 密 度 极 小 ， 地 球 引 力 不 足 以 束 缚 它 ， 因 此 氦 在 空 气 中 的 含 量 仅 有 百 万 分 之 4 . 6 ， 所 以 用 空 分 提 氦 是 非 常 不 经 济 的 。 氦 气 还 有 一 部 分 与 天 然 气 伴 生 ， 储 藏 在 地 壳 深 处 ， 天 然 气 中 氦 的 含 量 大 约 是 空 气 的 几 十 到 上 万 倍 ， 是 我 们 目 前 氦 气 最 主 要 的 来 源 。 全 球 氦 气 总 储 量 预 估 为 4 8 4 亿 立 方 米 ， 分 布 非 常 不 均 匀 ， 主 要 集 中 在 美 国 、 阿 尔 及 利 亚 、 俄 罗 斯 等 国 家 。 其 中 ， 美 国 氦 气 储 量 大 约 1 7 1 亿 立 方 米 ， 全 球 占 比 高 达 4 0 % ， 而 我 国 的 氦 气 储 量 只 有 2 % ， 导 致 工 业 应 用 中 9 5 % 以 上 的 氦 气 都 依 靠 进 口 ， 而 且 我 国 天 然 气 中 氦 的 含 量 很 低 ， 平 均 只 有 0 . 0 4 % ， 是 美 国 的 1 / 2 0 ， 所 以 提 取 技 术 难 度 更 大 ， 成 本 也 会 更 高 。 这 对 我 们 国 家 的 战 略 安 全 构 成 了 极 大 的 威 胁 。 二 战 期 间 ， 德 国 兴 登 堡 号 飞 艇 爆 炸 就 是 氦 气 资 源 受 制 于 人 的 一 个 惨 痛 教 训 。 突 破 战 略 气 体 “ 卡 脖 子 ” 危 机         由 于 我 国 天 然 气 的 含 氦 量 比 较 低 ， 美 国 广 泛 采 用 的 深 冷 法 工 艺 并 不 适 用 我 们 。 面 对 巨 大 的 工 业 需 求 ， 要 想 避 免 氦 气 被 “ 卡 脖 子 ” ， 我 们 必 须 自 力 更 生 ， 结 合 自 身 特 点 开 发 新 的 生 产 技 术 ， 自 己 生 产 氦 气 。 天 然 气 的 成 分 比 较 复 杂 ， 除 了 甲 烷 ， 还 有 氮 气 、 氢 气 、 二 氧 化 碳 、 水 蒸 气 等 ， 想 要 直 接 得 到 氦 气 ， 就 必 须 将 膜 分 离 、 常 温 变 压 吸 附 、 低 温 吸 附 等 新 型 分 离 技 术 和 低 温 精 馏 技 术 耦 合 起 来 并 用 。 膜 分 离 的 原 理 和 过 滤 非 常 相 似 ， 利 用 不 同 分 子 的 大 小 差 异 让 小 的 分 子 通 过 ， 大 的 分 子 截 留 ， 氦 气 的 分 子 是 最 小 的 ， 可 以 通 过 膜 孔 ， 而 甲 烷 的 分 子 比 较 大 ， 无 法 通 过 膜 孔 ， 因 此 可 以 用 膜 分 离 来 对 天 然 气 中 的 氦 进 行 初 步 的 提 浓 ， 把 含 量 从 0 . 1 % 以 下 提 到 2 6 % 。 吸 附 分 离 的 关 键 ， 是 通 过 采 用 对 氮 气 、 甲 烷 等 杂 质 气 体 有 比 较 强 吸 附 能 力 和 脱 除 能 力 的 吸 附 剂 ， 把 氦 气 的 含 量 提 高 到 9 9 % ， 甚 至 9 9 . 9 9 9 % 以 上 。 另 一 条 比 较 经 济 的 工 艺 路 线 ， 就 是 在 生 产 液 化 天 然 气 （ L N G ） 的 同 时 利 用 其 副 产 的 闪 蒸 气 （ B O G ） 来 生 产 氦 气 。 氦 气 的 沸 点 低 ， 在 天 然 气 的 液 化 过 程 中 自 然 被 富 集 到 气 相 当 中 ， 从 而 得 到 提 浓 ， 有 利 于 后 续 的 加 工 。 2 0 2 0 年 国 产 首 套 B O G 提 氦 装 置 在 宁 夏 盐 池 成 功 示 范 运 行 ， 填 补 了 国 内 空 白 ； 2 0 2 1 年 在 内 蒙 古 万 瑞 建 成 了 年 产 5 0 万 方 氦 气 国 内 最 大 的 L N G 联 产 提 氦 装 置 ； 2 0 2 2 年 在 重 庆 建 成 以 低 温 吸 附 为 核 心 的 L N G 氦 气 提 纯 项 目 ， 可 以 年 产 9 9 . 9 9 9 % 的 氦 气 2 0 吨 以 上 。 这 些 提 氦 装 置 的 开 发 和 投 运 有 效 地 缓 解 了 我 国 氦 气 供 应 的 紧 张 局 面 ， 也 部 分 缓 解 了 国 家 战 略 气 体 资 源 的 “ 卡 脖 子 ” 问 题 。         未 来 ， 我 们 工 业 气 体 要 面 向 新 型 工 业 化 建 设 的 任 务 ， 聚 焦 高 端 化 、 智 能 化 、 绿 色 化 ， 找 准 “ 卡 脖 子 ” “ 掉 链 子 ” 的 薄 弱 环 节 ， 补 短 板 、 锻 长 板 ， 提 升 产 业 体 系 自 主 可 控 能 力 ， 推 动 产 业 创 新 向 原 始 创 新 和 创 新 引 领 转 变 ， 在 新 征 程 中 顺 好 工 业 这 口 “ 气 ” ， 进 而 扬 眉 吐 气 。 （ 任 其 龙 ， 中 国 工 程 院 院 士 ， 浙 江 大 学 教 授 ） 来 源 ： 学 习 时 报 查 看 详 情 原 标 题 ： 如 何 顺 好 工 业 气 体 这 口 “ 气 ”         提 到 气 体 ， 大 多 数 人 会 首 先 想 到 空 气 、 氧 气 等 ， 它 们 来 得 容 易 又 便 宜 。 但 是 ， 有 些 气 体 却 价 值 连 城 ， 我 们 每 年 甚 至 要 花 费 巨 额 资 金 去 国 外 购 买 ， 这 就 是 工 业 气 体 ， 包 括 氪 气 、 氩 气 。 它 们 是 现 代 工 业 不 可 或 缺 的 基 础 原 料 ， 广 泛 应 用 于 钢 铁 、 冶 金 、 石 油 、 化 工 、 电 子 、 医 疗 等 重 要 行 业 ， 发 挥 着 强 有 力 的 战 略 支 撑 作 用 ， 乃 至 被 称 为 “ 工 业 的 血 液 ” 。 我 国 的 工 业 气 体 长 期 依 赖 德 国 、 美 国 和 法 国 ， 生 产 集 成 电 路 所 需 的 特 种 气 体 中 ， 国 产 率 只 有 2 0 % 。 面 对 我 国 工 业 血 液 的 “ 贫 血 ” 问 题 ， 我 们 该 如 何 走 出 困 境 ？ “ 工 业 的 血 液 ”         工 业 气 体 是 指 在 工 业 生 产 中 所 使 用 的 气 体 ， 可 以 作 为 生 产 原 料 、 燃 料 、 保 护 气 、 输 送 气 、 驱 动 气 、 换 热 介 质 等 。 在 高 精 尖 领 域 中 ， 氧 气 和 氢 气 可 作 为 火 箭 的 燃 料 ， 氦 气 是 医 院 核 磁 共 振 仪 的 超 导 体 冷 却 剂 ， 氖 气 是 芯 片 光 刻 机 光 源 的 工 作 气 体 。 工 业 气 体 的 种 类 非 常 丰 富 ， 多 达 数 百 种 ， 可 分 为 大 宗 气 体 、 特 种 气 体 两 大 类 。 大 宗 气 体 是 指 用 量 大 、 使 用 范 围 广 的 气 体 ， 比 如 从 空 气 中 分 离 得 到 的 氧 气 、 氮 气 、 氩 气 以 及 化 学 合 成 的 氨 气 、 乙 烯 、 丙 烯 、 乙 炔 ； 特 种 气 体 是 指 被 应 用 在 特 定 领 域 对 纯 度 、 品 质 、 性 能 有 特 殊 要 求 的 气 体 ， 比 如 芯 片 制 造 过 程 中 用 到 的 各 种 高 纯 气 体 ， 以 及 在 国 防 、 医 疗 、 食 品 等 领 域 用 到 的 特 殊 气 体 。 可 见 ， 工 业 气 体 渗 透 到 工 业 生 产 的 各 个 环 节 ， 发 挥 了 不 可 替 代 的 作 用 ， 因 此 被 称 为 “ 工 业 的 血 液 ” 。 工 业 气 体 究 竟 有 多 重 要 ？ 以 半 导 体 行 业 为 例 ， 芯 片 的 制 造 会 用 到 光 刻 机 ， 光 刻 是 用 特 定 波 长 的 激 光 让 光 刻 胶 发 生 化 学 反 应 ， 通 过 曝 光 和 显 影 将 设 计 在 掩 膜 版 上 的 图 形 转 移 到 硅 片 上 的 过 程 。 特 定 的 波 长 是 在 常 用 的 深 紫 外 D U V 光 刻 机 中 通 过 准 分 子 激 光 器 产 生 的 ， 这 种 激 光 器 内 充 填 了 9 7 % 的 氖 气 。         全 球 7 0 % 的 氖 气 由 乌 克 兰 供 应 ， 但 乌 克 兰 危 机 导 致 氖 气 停 产 ， 供 应 短 缺 ， 价 格 暴 涨 。 氖 气 虽 然 存 在 于 空 气 中 ， 但 只 占 0 . 0 0 1 8 % ， 它 的 制 取 离 不 开 空 气 分 离 技 术 。 大 型 空 气 分 离 装 置 举 足 轻 重         空 气 分 离 简 称 “ 空 分 ” ， 是 利 用 化 工 分 离 技 术 将 空 气 中 的 各 个 成 分 分 离 开 来 获 得 各 种 气 体 产 品 。 空 分 技 术 最 初 的 目 的 并 不 是 为 了 得 到 氖 气 ， 而 是 为 了 生 产 工 业 中 大 量 使 用 的 氧 气 和 氮 气 。 1 9 0 3 年 ， 德 国 林 德 设 计 制 成 世 界 上 第 一 台 工 业 用 的 1 0 立 方 米 / 小 时 制 氧 机 ， 至 今 已 过 百 年 。 长 期 以 来 世 界 空 分 市 场 被 德 、 法 、 美 等 国 的 四 大 气 体 公 司 垄 断 。         空 分 的 原 理 并 不 复 杂 ， 难 点 在 于 空 气 分 离 的 设 备 ， 尤 其 是 大 型 、 特 大 型 的 空 分 设 备 。 大 型 空 分 装 置 的 制 造 能 力 是 衡 量 一 个 国 家 空 分 技 术 水 平 的 重 要 标 志 。 我 国 的 空 分 产 业 是 从 2 0 世 纪 5 0 年 代 起 步 的 ， 经 过 摸 索 、 合 作 、 自 主 研 发 等 阶 段 ， 直 到 2 0 0 0 年 前 后 ， 得 益 于 钢 铁 、 煤 化 工 等 产 业 的 快 速 发 展 ， 我 国 大 型 、 特 大 型 空 分 成 套 技 术 与 装 备 才 有 了 质 的 飞 跃 。         长 期 以 来 ， 大 型 的 空 分 设 备 基 本 上 都 由 国 外 公 司 垄 断 。 近 年 来 ， 得 益 于 煤 化 工 的 快 速 发 展 ， 我 国 空 分 设 备 迎 来 了 转 机 。 我 国 研 制 的 十 万 等 级 （ 1 0 0 0 0 0 立 方 米 / 小 时 ） 空 分 装 置 ， 就 是 我 国 重 大 技 术 装 备 国 产 化 里 程 碑 式 的 一 个 成 就 。 国 内 生 产 的 空 分 设 备 不 仅 产 氧 质 量 好 ， 而 且 能 耗 低 、 生 产 成 本 低 、 性 能 优 ， 特 别 是 长 周 期 稳 定 运 行 远 远 超 过 了 国 外 ， 成 为 我 们 的 “ 大 国 重 器 ” 。 大 型 空 分 技 术 的 进 步 也 为 我 国 氖 气 的 自 主 生 产 创 造 了 条 件 ， 其 他 几 种 稀 有 气 体 也 被 附 带 提 取 了 出 来 ， 包 括 贵 如 黄 金 的 氪 气 、 氙 气 等 。 目 前 我 国 占 全 球 氖 气 市 场 份 额 的 4 0 % ， 超 过 了 乌 克 兰 ， 有 力 保 障 了 我 国 相 关 产 业 的 健 康 发 展 。 半 导 体 生 产 要 用 到 上 百 种 气 体         工 业 气 体 中 的 电 子 特 气 ， 包 括 氙 气 、 氪 气 、 含 氟 气 体 等 ， 是 集 成 电 路 制 造 、 半 导 体 显 示 、 半 导 体 器 件 制 造 过 程 中 必 不 可 少 的 关 键 材 料 。 生 产 一 枚 芯 片 ， 需 要 1 0 0 多 种 电 子 特 气 ， 而 我 国 仅 能 生 产 约 2 0 % 的 品 种 ， 其 余 品 种 均 依 赖 进 口 ， 有 的 品 种 1 千 克 售 价 高 达 几 万 元 人 民 币 。 芯 片 的 生 产 过 程 非 常 复 杂 ， 从 生 产 多 晶 硅 开 始 ， 到 抛 光 、 外 延 、 扩 散 、 成 膜 、 沉 积 、 刻 蚀 、 掺 杂 、 电 镀 、 清 洗 、 分 装 等 环 节 ， 几 乎 都 离 不 开 电 子 特 气 的 参 与 ， 电 子 特 气 是 芯 片 制 造 中 的 第 二 大 耗 材 。         按 照 所 处 的 工 序 ， 电 子 特 气 可 以 分 为 外 延 气 、 沉 积 气 、 刻 蚀 气 、 掺 杂 气 等 ， 每 一 类 都 包 含 很 多 品 种 。 沉 积 气 是 以 硅 烷 等 含 硅 气 体 为 主 ， 硅 烷 分 解 后 可 以 在 晶 圆 表 面 形 成 需 要 的 薄 膜 ； 刻 蚀 气 常 用 的 是 四 氟 化 碳 、 八 氟 环 丁 烷 等 含 氟 的 气 体 ， 它 的 作 用 是 对 经 过 光 刻 的 硅 片 进 行 雕 刻 得 到 特 定 结 构 的 沟 槽 ； 掺 杂 气 是 含 有 砷 、 硼 、 磷 等 元 素 的 气 体 ， 用 于 向 硅 片 中 掺 入 一 些 元 素 形 成 半 导 体 的 器 件 。 气 体 是 怎 么 在 刻 蚀 环 节 中 起 作 用 的 ？ 目 前 主 流 的 刻 蚀 方 法 是 干 法 刻 蚀 ， 它 包 括 化 学 刻 蚀 和 物 理 刻 蚀 ， 其 中 的 化 学 刻 蚀 用 到 的 是 含 氟 气 体 ， 基 本 原 理 是 利 用 等 离 子 体 发 生 装 置 把 含 氟 气 体 电 离 成 氟 的 自 由 基 ， 由 氟 的 自 由 基 与 硅 结 合 起 来 生 成 气 态 的 四 氟 化 硅 ， 而 四 氟 化 硅 容 易 被 抽 走 不 会 残 留 ， 这 样 就 可 以 在 硅 片 上 雕 刻 出 一 道 道 特 定 结 构 的 沟 槽 。 电 子 特 气 生 产 技 术 门 槛 极 高         电 子 特 气 的 “ 特 ” ， 就 特 在 纯 净 度 要 求 非 常 高 ， 纯 度 指 的 是 主 成 分 的 含 量 越 高 越 好 ， 洁 净 度 指 的 是 杂 质 的 残 留 量 越 低 越 好 。 对 于 9 0 纳 米 制 程 纯 度 要 求 在 5 到 6 个 N ， 这 里 N 指 的 是 纯 度 百 分 比 中 9 的 个 数 。 同 时 杂 质 要 求 小 于 1 0 的 负 9 次 方 ， 也 就 是 十 亿 分 之 一 。 2 8 纳 米 甚 至 7 纳 米 、 5 纳 米 制 程 对 电 子 特 气 的 纯 度 要 求 就 更 高 了 ， 金 属 元 素 要 净 化 到 万 亿 分 之 一 ， 相 当 于 2 0 个 标 准 游 泳 池 的 水 里 杂 质 的 量 不 能 超 过 一 滴 水 的 量 。 为 什 么 要 如 此 苛 刻 的 纯 度 呢 ？ 这 是 因 为 极 微 量 的 杂 质 都 有 可 能 导 致 产 品 出 现 重 大 缺 陷 ， 比 如 水 分 、 氧 气 等 杂 质 会 导 致 氧 化 金 属 和 颗 粒 物 ， 会 导 致 短 路 以 及 线 路 的 损 坏 。 从 2 8 纳 米 到 7 纳 米 ， 产 品 的 金 属 杂 质 必 须 下 降 1 0 0 倍 ， 污 染 粒 子 的 体 积 必 须 缩 小 到 4 倍 以 下 。 随 着 工 艺 制 程 发 展 到 1 0 纳 米 以 下 ， 生 产 过 程 对 于 杂 质 过 滤 、 洁 净 度 的 要 求 也 会 越 来 越 严 格 。         这 么 苛 刻 的 要 求 导 致 电 子 特 气 生 产 技 术 的 门 槛 非 常 高 ， 需 要 长 期 的 积 累 和 研 发 投 入 。 同 时 生 产 过 程 要 用 到 大 量 精 密 仪 器 设 备 ， 这 是 第 一 道 难 关 。 第 二 道 难 关 是 资 质 壁 垒 ， 电 子 特 气 品 质 对 电 气 产 品 性 能 影 响 大 ， 一 旦 质 量 出 现 问 题 下 游 客 户 将 损 失 巨 大 。 为 保 持 气 体 供 应 的 稳 定 ， 客 户 在 与 气 体 供 应 商 建 立 合 作 关 系 以 后 ， 不 会 轻 易 地 更 换 气 体 供 应 商 ， 如 果 想 进 入 就 必 须 经 过 严 格 的 审 查 和 认 证 ， 这 个 周 期 一 般 要 长 达 2 到 3 年 。 由 于 发 达 国 家 电 子 信 息 产 业 的 起 步 早 ， 在 技 术 、 资 金 、 人 才 等 方 面 有 先 发 优 势 ， 我 国 不 得 不 长 期 依 赖 进 口 ， 8 5 % 以 上 的 市 场 份 额 被 美 、 法 、 德 、 日 等 国 的 企 业 所 垄 断 ， 特 别 是 超 高 纯 特 气 更 是 几 乎 全 部 依 赖 进 口 ， 卖 不 卖 、 卖 多 少 全 凭 他 们 说 了 算 。 所 以 ， 我 国 必 须 尽 快 开 发 出 关 键 电 子 特 气 的 国 产 化 技 术 化 解 “ 卡 脖 子 ” 的 风 险 ， 把 国 民 经 济 的 安 全 命 脉 牢 牢 地 掌 握 在 自 己 手 中 。 从 技 术 层 面 而 言 ， 我 国 电 子 气 体 行 业 需 要 在 以 下 几 个 方 面 加 以 突 破 ： 一 是 净 化 材 料 ， 气 体 终 端 净 化 器 的 核 心 材 料 ， 如 净 化 用 的 催 化 剂 、 吸 附 剂 和 膜 材 料 等 ； 二 是 新 产 品 、 新 技 术 ， 电 子 特 气 更 新 换 代 快 ， 新 产 品 的 研 发 、 混 配 技 术 跟 不 上 国 外 的 研 发 速 度 ， 国 内 的 三 氟 化 氮 和 六 氟 化 硫 等 电 子 特 气 产 品 ， 目 前 国 际 上 已 逐 渐 淘 汰 ； 三 是 设 备 方 面 ， 与 高 纯 气 体 接 触 的 器 材 必 须 满 足 洁 净 的 标 准 ， 否 则 释 放 出 来 的 微 量 杂 质 就 会 污 染 电 子 气 体 ， 生 产 用 的 容 器 、 管 道 阀 门 等 目 前 还 需 要 大 量 进 口 ， 亟 需 我 们 尽 快 研 发 ； 四 是 检 测 技 术 方 面 ， 分 析 检 测 是 品 质 保 证 的 关 键 ， 部 分 纯 度 指 标 检 测 技 术 有 一 定 的 基 础 ， 但 是 在 超 痕 量 杂 质 高 精 度 分 析 检 测 技 术 以 及 一 些 专 用 的 仪 器 方 面 与 国 外 差 距 巨 大 。 近 年 来 ， 我 国 一 些 企 业 经 过 多 年 的 自 主 研 发 ， 部 分 电 子 特 气 产 品 已 经 实 现 量 产 ， 并 且 通 过 了 国 际 龙 头 企 业 的 认 证 ， 今 后 将 会 有 更 多 的 产 品 陆 续 进 入 全 球 半 导 体 的 供 应 链 体 系 。 宇 宙 含 量 第 二 的 地 球 珍 稀 气 体         氦 气 是 宇 宙 中 含 量 第 二 高 的 元 素 ， 但 在 地 球 上 却 相 当 稀 缺 。 氦 气 无 色 无 味 ， 非 常 轻 又 有 惰 性 ， 一 般 状 态 下 不 会 和 其 他 物 质 反 应 ， 很 安 全 ， 是 一 种 关 系 国 家 安 全 、 高 新 技 术 产 业 发 展 的 战 略 性 气 体 ， 广 泛 应 用 于 深 海 潜 水 、 低 温 技 术 、 火 箭 燃 料 、 半 导 体 制 造 、 核 磁 共 振 等 领 域 ， 有 “ 黄 金 气 体 ” 之 誉 。 比 如 ， 在 半 导 体 的 制 程 里 面 ， 它 可 以 掺 到 刻 蚀 气 体 里 面 来 清 洗 ， 它 的 导 热 系 数 也 高 ， 可 以 把 设 备 的 热 量 及 时 地 移 走 ， 不 至 于 产 生 过 热 ， 提 高 了 设 备 的 安 全 性 。 航 空 航 天 发 动 机 的 燃 料 和 氧 化 剂 的 输 送 系 统 都 需 要 有 氦 气 的 密 切 参 与 。 此 外 ， 宇 宙 飞 船 、 液 体 燃 料 导 弹 等 在 加 注 燃 料 之 前 必 须 使 用 氦 气 清 洗 和 增 压 ， 增 压 里 面 的 液 氢 罐 和 管 道 系 统 在 太 空 舱 上 各 种 气 动 阀 门 的 驱 动 气 体 也 是 氦 气 。 在 核 电 领 域 ， 利 用 氦 气 导 热 系 数 高 的 特 点 ， 可 以 作 为 最 先 进 的 气 冷 式 核 反 应 堆 的 冷 却 介 质 。 氦 气 在 芯 片 和 光 纤 的 生 产 中 也 大 有 用 武 之 地 ， 利 用 它 极 不 活 泼 的 化 学 性 质 可 用 作 生 产 过 程 中 的 保 护 气 ， 利 用 它 的 高 导 热 性 和 散 热 能 力 可 以 实 现 零 部 件 的 快 速 冷 却 ， 提 高 生 产 效 率 ， 并 减 少 芯 片 和 光 纤 的 质 量 缺 陷 ， 每 生 产 1 0 0 公 里 的 光 纤 就 需 要 2 个 立 方 米 的 氦 气 。 毫 不 夸 张 地 说 ， 如 果 没 有 氦 气 ， 医 院 的 核 磁 共 振 检 查 将 无 法 进 行 ， 宇 宙 飞 船 也 无 法 升 空 。         氦 气 密 度 极 小 ， 地 球 引 力 不 足 以 束 缚 它 ， 因 此 氦 在 空 气 中 的 含 量 仅 有 百 万 分 之 4 . 6 ， 所 以 用 空 分 提 氦 是 非 常 不 经 济 的 。 氦 气 还 有 一 部 分 与 天 然 气 伴 生 ， 储 藏 在 地 壳 深 处 ， 天 然 气 中 氦 的 含 量 大 约 是 空 气 的 几 十 到 上 万 倍 ， 是 我 们 目 前 氦 气 最 主 要 的 来 源 。 全 球 氦 气 总 储 量 预 估 为 4 8 4 亿 立 方 米 ， 分 布 非 常 不 均 匀 ， 主 要 集 中 在 美 国 、 阿 尔 及 利 亚 、 俄 罗 斯 等 国 家 。 其 中 ， 美 国 氦 气 储 量 大 约 1 7 1 亿 立 方 米 ， 全 球 占 比 高 达 4 0 % ， 而 我 国 的 氦 气 储 量 只 有 2 % ， 导 致 工 业 应 用 中 9 5 % 以 上 的 氦 气 都 依 靠 进 口 ， 而 且 我 国 天 然 气 中 氦 的 含 量 很 低 ， 平 均 只 有 0 . 0 4 % ， 是 美 国 的 1 / 2 0 ， 所 以 提 取 技 术 难 度 更 大 ， 成 本 也 会 更 高 。 这 对 我 们 国 家 的 战 略 安 全 构 成 了 极 大 的 威 胁 。 二 战 期 间 ， 德 国 兴 登 堡 号 飞 艇 爆 炸 就 是 氦 气 资 源 受 制 于 人 的 一 个 惨 痛 教 训 。 突 破 战 略 气 体 “ 卡 脖 子 ” 危 机         由 于 我 国 天 然 气 的 含 氦 量 比 较 低 ， 美 国 广 泛 采 用 的 深 冷 法 工 艺 并 不 适 用 我 们 。 面 对 巨 大 的 工 业 需 求 ， 要 想 避 免 氦 气 被 “ 卡 脖 子 ” ， 我 们 必 须 自 力 更 生 ， 结 合 自 身 特 点 开 发 新 的 生 产 技 术 ， 自 己 生 产 氦 气 。 天 然 气 的 成 分 比 较 复 杂 ， 除 了 甲 烷 ， 还 有 氮 气 、 氢 气 、 二 氧 化 碳 、 水 蒸 气 等 ， 想 要 直 接 得 到 氦 气 ， 就 必 须 将 膜 分 离 、 常 温 变 压 吸 附 、 低 温 吸 附 等 新 型 分 离 技 术 和 低 温 精 馏 技 术 耦 合 起 来 并 用 。 膜 分 离 的 原 理 和 过 滤 非 常 相 似 ， 利 用 不 同 分 子 的 大 小 差 异 让 小 的 分 子 通 过 ， 大 的 分 子 截 留 ， 氦 气 的 分 子 是 最 小 的 ， 可 以 通 过 膜 孔 ， 而 甲 烷 的 分 子 比 较 大 ， 无 法 通 过 膜 孔 ， 因 此 可 以 用 膜 分 离 来 对 天 然 气 中 的 氦 进 行 初 步 的 提 浓 ， 把 含 量 从 0 . 1 % 以 下 提 到 2 6 % 。 吸 附 分 离 的 关 键 ， 是 通 过 采 用 对 氮 气 、 甲 烷 等 杂 质 气 体 有 比 较 强 吸 附 能 力 和 脱 除 能 力 的 吸 附 剂 ， 把 氦 气 的 含 量 提 高 到 9 9 % ， 甚 至 9 9 . 9 9 9 % 以 上 。 另 一 条 比 较 经 济 的 工 艺 路 线 ， 就 是 在 生 产 液 化 天 然 气 （ L N G ） 的 同 时 利 用 其 副 产 的 闪 蒸 气 （ B O G ） 来 生 产 氦 气 。 氦 气 的 沸 点 低 ， 在 天 然 气 的 液 化 过 程 中 自 然 被 富 集 到 气 相 当 中 ， 从 而 得 到 提 浓 ， 有 利 于 后 续 的 加 工 。 2 0 2 0 年 国 产 首 套 B O G 提 氦 装 置 在 宁 夏 盐 池 成 功 示 范 运 行 ， 填 补 了 国 内 空 白 ； 2 0 2 1 年 在 内 蒙 古 万 瑞 建 成 了 年 产 5 0 万 方 氦 气 国 内 最 大 的 L N G 联 产 提 氦 装 置 ； 2 0 2 2 年 在 重 庆 建 成 以 低 温 吸 附 为 核 心 的 L N G 氦 气 提 纯 项 目 ， 可 以 年 产 9 9 . 9 9 9 % 的 氦 气 2 0 吨 以 上 。 这 些 提 氦 装 置 的 开 发 和 投 运 有 效 地 缓 解 了 我 国 氦 气 供 应 的 紧 张 局 面 ， 也 部 分 缓 解 了 国 家 战 略 气 体 资 源 的 “ 卡 脖 子 ” 问 题 。         未 来 ， 我 们 工 业 气 体 要 面 向 新 型 工 业 化 建 设 的 任 务 ， 聚 焦 高 端 化 、 智 能 化 、 绿 色 化 ， 找 准 “ 卡 脖 子 ” “ 掉 链 子 ” 的 薄 弱 环 节 ， 补 短 板 、 锻 长 板 ， 提 升 产 业 体 系 自 主 可 控 能 力 ， 推 动 产 业 创 新 向 原 始 创 新 和 创 新 引 领 转 变 ， 在 新 征 程 中 顺 好 工 业 这 口 “ 气 ” ， 进 而 扬 眉 吐 气 。 （ 任 其 龙 ， 中 国 工 程 院 院 士 ， 浙 江 大 学 教 授 ） 来 源 ： 学 习 时 报 分 类 ： 新 闻 中 心 作 者 ： 任 其 龙 ， 中 国 工 程 院 院 士 ， 浙 江 大 学 教 授 来 源 ： 学 习 时 报 工 业 气 体 气 体 氦 气 电 子 我 国 技 术 生 产 空 气 杂 质 分 离 喜 报 黄 河 空 分 孙 记 章 获 “ 河 南 省 劳 动 模 范 ” 荣 誉 称 号 喜 报 黄 河 空 分 孙 记 章 获 “ 河 南 省 劳 动 模 范 ” 荣 誉 称 号 2 0 2 4 0 5 0 9 发 布 时 间 : 1 7 1 5 2 1 6 3 3 8 0 0 0       2 0 2 4 年 4 月 3 0 日 上 午 ， 河 南 省 庆 祝 “ 五 一 ” 国 际 劳 动 节 大 会 暨 表 彰 河 南 省 劳 动 模 范 和 先 进 工 作 者 大 会 在 郑 州 隆 重 召 开 ， 开 封 黄 河 空 分 集 团 有 限 公 司 孙 记 章 同 志 被 授 予 “ 河 南 省 劳 动 模 范 ” 称 号 ， 在 河 南 省 人 民 大 会 堂 接 受 表 彰 。 查 看 详 情       2 0 2 4 年 4 月 3 0 日 上 午 ， 河 南 省 庆 祝 “ 五 一 ” 国 际 劳 动 节 大 会 暨 表 彰 河 南 省 劳 动 模 范 和 先 进 工 作 者 大 会 在 郑 州 隆 重 召 开 ， 开 封 黄 河 空 分 集 团 有 限 公 司 孙 记 章 同 志 被 授 予 “ 河 南 省 劳 动 模 范 ” 称 号 ， 在 河 南 省 人 民 大 会 堂 接 受 表 彰 。 分 类 ： 新 闻 中 心 作 者 ： 来 源 ： 喜 报 河 南 省 劳 动 模 范 表 彰 隆 重 召 开 同 志 2 0 2 4 年 人 民 大 会 堂 会 在 有 限 公 司 市 上 媒 体 看 开 封 （ 河 南 省 科 学 技 术 厅 ） — 开 封 市 加 快 科 技 成 果 转 化 服 务 企 业 创 新 发 展 需 求 市 上 媒 体 看 开 封 （ 河 南 省 科 学 技 术 厅 ） — 开 封 市 加 快 科 技 成 果 转 化 服 务 企 业 创 新 发 展 需 求 2 0 2 4 0 4 1 5 发 布 时 间 : 1 7 1 3 1 4 3 8 3 5 0 0 0 市 上 媒 体 看 开 封 （ 河 南 省 科 学 技 术 厅 ） — 开 封 市 加 快 科 技 成 果 转 化 服 务 企 业 创 新 发 展 需 求 发 布 人 ： 开 封 市 科 学 技 术 局 发 布 时 间 ： 2 0 2 4 0 4 0 8         近 年 来 ， 开 封 市 科 技 局 以 “ 企 业 为 主 体 、 市 场 为 导 向 、 政 策 为 引 领 ” ， 着 力 完 善 创 新 链 条 ， 贯 通 产 学 研 用 ， 多 措 并 举 推 动 成 果 孵 化 转 化 及 产 业 化 ， 助 力 新 质 生 产 力 发 展 和 现 代 化 产 业 体 系 建 设 。 　 　 一 是 坚 持 自 主 创 新 与 开 放 协 同 相 结 合 。 实 施 创 新 型 企 业 梯 次 培 育 工 程 ， 打 造 “ 创 新 + 营 商 ” 双 优 环 境 ， 提 升 企 业 创 新 能 力 和 核 心 竞 争 力 ， 高 新 技 术 企 业 、 国 家 科 技 型 中 小 企 业 数 量 连 续 三 年 保 持 2 0 % 左 右 增 长 。 举 办 中 国 科 学 院 （ 河 南 ） 科 技 成 果 发 布 暨 项 目 对 接 会 、 斯 高 心 脏 科 学 研 究 国 际 研 讨 会 等 对 接 活 动 ， 培 育 建 设 4 家 创 新 联 合 体 ， 提 升 科 技 成 果 域 内 转 化 效 率 。 　 　 二 是 坚 持 企 业 需 求 与 优 势 力 量 相 结 合 。 围 绕 开 封 “ 7 + 1 0 + N ” 产 业 群 链 体 系 ， 建 立 关 键 核 心 技 术 和 行 业 共 性 技 术 需 求 数 据 库 ， 精 准 匹 配 科 技 成 果 。 目 前 ， 已 入 库 技 术 需 求 1 0 0 余 项 ； 出 台 《 开 封 市 重 大 科 技 专 项 实 施 办 法 （ 试 行 ） 》 等 ， 鼓 励 在 汴 高 校 院 所 围 绕 主 导 产 业 发 展 ， 横 向 实 施 科 技 计 划 项 目 ， 增 强 产 业 发 展 科 技 供 给 能 力 ， 开 封 测 控 、 启 源 研 究 院 等 企 业 联 合 河 南 大 学 申 报 的 项 目 列 入 全 省 重 大 （ 重 点 ） 科 技 专 项 。 　 　 三 是 坚 持 政 府 引 导 与 市 场 机 制 相 结 合 。 设 立 总 规 模 2 亿 元 的 政 策 性 引 导 基 金 ， 重 点 支 持 种 子 期 、 初 创 期 科 技 型 企 业 开 展 成 果 转 化 。 围 绕 生 物 医 药 、 储 能 新 材 料 等 产 业 领 域 ， 培 育 建 设 5 家 中 试 基 地 ， 面 向 社 会 提 供 中 试 熟 化 、 小 批 量 试 生 产 等 中 试 服 务 ， 促 进 大 中 小 企 业 融 通 发 展 。 同 时 ， 引 进 中 部 知 光 团 队 ， 建 强 专 业 化 技 术 转 移 人 才 队 伍 ， 繁 荣 技 术 市 场 ， 2 0 2 3 年 技 术 合 同 成 交 额 突 破 3 0 亿 元 、 增 长 4 6 % 。 　 　 下 一 步 ， 开 封 市 科 技 局 将 围 绕 现 代 化 产 业 体 系 建 设 重 大 需 求 ， 完 善 科 技 成 果 转 移 转 化 机 制 ， 统 筹 推 动 创 新 链 产 业 链 资 金 链 人 才 链 深 度 耦 合 ， 在 传 统 产 业 、 战 略 性 新 兴 产 业 、 未 来 产 业 的 重 点 领 域 加 快 重 大 科 研 成 果 转 化 和 产 业 化 ， 支 撑 产 业 基 础 高 级 化 、 产 业 链 现 代 化 ， 增 强 企 业 产 业 整 体 竞 争 力 。   查 看 详 情 市 上 媒 体 看 开 封 （ 河 南 省 科 学 技 术 厅 ） — 开 封 市 加 快 科 技 成 果 转 化 服 务 企 业 创 新 发 展 需 求 发 布 人 ： 开 封 市 科 学 技 术 局 发 布 时 间 ： 2 0 2 4 0 4 0 8         近 年 来 ， 开 封 市 科 技 局 以 “ 企 业 为 主 体 、 市 场 为 导 向 、 政 策 为 引 领 ” ， 着 力 完 善 创 新 链 条 ， 贯 通 产 学 研 用 ， 多 措 并 举 推 动 成 果 孵 化 转 化 及 产 业 化 ， 助 力 新 质 生 产 力 发 展 和 现 代 化 产 业 体 系 建 设 。 　 　 一 是 坚 持 自 主 创 新 与 开 放 协 同 相 结 合 。 实 施 创 新 型 企 业 梯 次 培 育 工 程 ， 打 造 “ 创 新 + 营 商 ” 双 优 环 境 ， 提 升 企 业 创 新 能 力 和 核 心 竞 争 力 ， 高 新 技 术 企 业 、 国 家 科 技 型 中 小 企 业 数 量 连 续 三 年 保 持 2 0 % 左 右 增 长 。 举 办 中 国 科 学 院 （ 河 南 ） 科 技 成 果 发 布 暨 项 目 对 接 会 、 斯 高 心 脏 科 学 研 究 国 际 研 讨 会 等 对 接 活 动 ， 培 育 建 设 4 家 创 新 联 合 体 ， 提 升 科 技 成 果 域 内 转 化 效 率 。 　 　 二 是 坚 持 企 业 需 求 与 优 势 力 量 相 结 合 。 围 绕 开 封 “ 7 + 1 0 + N ” 产 业 群 链 体 系 ， 建 立 关 键 核 心 技 术 和 行 业 共 性 技 术 需 求 数 据 库 ， 精 准 匹 配 科 技 成 果 。 目 前 ， 已 入 库 技 术 需 求 1 0 0 余 项 ； 出 台 《 开 封 市 重 大 科 技 专 项 实 施 办 法 （ 试 行 ） 》 等 ， 鼓 励 在 汴 高 校 院 所 围 绕 主 导 产 业 发 展 ， 横 向 实 施 科 技 计 划 项 目 ， 增 强 产 业 发 展 科 技 供 给 能 力 ， 开 封 测 控 、 启 源 研 究 院 等 企 业 联 合 河 南 大 学 申 报 的 项 目 列 入 全 省 重 大 （ 重 点 ） 科 技 专 项 。 　 　 三 是 坚 持 政 府 引 导 与 市 场 机 制 相 结 合 。 设 立 总 规 模 2 亿 元 的 政 策 性 引 导 基 金 ， 重 点 支 持 种 子 期 、 初 创 期 科 技 型 企 业 开 展 成 果 转 化 。 围 绕 生 物 医 药 、 储 能 新 材 料 等 产 业 领 域 ， 培 育 建 设 5 家 中 试 基 地 ， 面 向 社 会 提 供 中 试 熟 化 、 小 批 量 试 生 产 等 中 试 服 务 ， 促 进 大 中 小 企 业 融 通 发 展 。 同 时 ， 引 进 中 部 知 光 团 队 ， 建 强 专 业 化 技 术 转 移 人 才 队 伍 ， 繁 荣 技 术 市 场 ， 2 0 2 3 年 技 术 合 同 成 交 额 突 破 3 0 亿 元 、 增 长 4 6 % 。 　 　 下 一 步 ， 开 封 市 科 技 局 将 围 绕 现 代 化 产 业 体 系 建 设 重 大 需 求 ， 完 善 科 技 成 果 转 移 转 化 机 制 ， 统 筹 推 动 创 新 链 产 业 链 资 金 链 人 才 链 深 度 耦 合 ， 在 传 统 产 业 、 战 略 性 新 兴 产 业 、 未 来 产 业 的 重 点 领 域 加 快 重 大 科 研 成 果 转 化 和 产 业 化 ， 支 撑 产 业 基 础 高 级 化 、 产 业 链 现 代 化 ， 增 强 企 业 产 业 整 体 竞 争 力 。   分 类 ： 新 闻 中 心 作 者 ： 来 源 ： 开 封 市 科 学 技 术 局 加 快 企 业 产 业 创 新 转 化 科 技 成 果 需 求 开 封 市 发 展 建 设 G R E E N E N T E R P R I S E 绿 色 环 保 型 企 业 低 温 装 置 （ 通 用 ） 低 温 装 置 （ 通 用 ） 石 化 装 置 （ 通 用 ） 石 化 装 置 （ 通 用 ） 二 氧 化 碳 装 置 （ 通 用 ） 二 氧 化 碳 装 置 （ 通 用 ） 吸 附 装 置 （ 通 用 ） 吸 附 装 置 （ 通 用 ） 了 解 更 多 A P P L I C A T I O N 行 业 应 用 钢 铁 及 建 材 了 解 更 多 详 细 化 工 了 解 更 多 详 细 有 色 金 属 了 解 更 多 详 细 电 子 电 池 了 解 更 多 详 细 P V C 了 解 更 多 详 细 能 源 了 解 更 多 详 细 生 物 医 药 了 解 更 多 详 细 更 多 了 解 更 多 详 细 首 页 关 于 我 们 企 业 简 介 董 事 长 致 辞 企 业 文 化 资 质 荣 誉 知 识 产 权 公 司 图 册 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 资 讯 科 技 要 闻 工 艺 装 置 空 气 分 离 装 置 沼 气 提 纯 装 置 天 然 气 处 理 装 置 吸 附 装 置 二 氧 化 碳 装 置 石 化 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